据路透社20日报道,荷兰阿斯麦公司(ASML)正在制造新款极紫外线(EUV)光刻机,每台售价约4亿美元。
路透社援引阿斯麦公司高级管理人员的话报道,新一代高数值孔径EUV光刻机的原型机将在2023年上半年制造完成。
报道援引美国超大枧模集成技术研究所专家丹·哈奇森的话说,高数值孔径EUV光刻机可为一些芯片企业提供巨大优势,“有点像谁得到最好的枪”。
阿斯麦公司在EUV光刻机方面占据垄断地位。据哈奇森介绍,中国台湾积体电路制造股份有限公司(台积电)本世纪头十年使用阿斯麦公司的EUV光刻机,甩开竞争对手。
据新华社专特稿