本报讯 记者孔爱群报道 日前，中国集成电路创新联盟组织召开“2021集成电路产业链协同创新发展交流会”，拓荆科技股份有限公司“量产型SACVD设备研发与应用”项目荣获第四届“IC创新奖”技术创新奖。此次获得技术创新奖的共有6家企业，拓荆科技是辽宁唯一获奖企业。

在国家科技重大专项和省科技重大专项的支持下，拓荆科技SACVD研发团队自主创新研发，成功研制了国内首台12英寸/8英寸量产型SACVD设备并实现应用，顺利通过生产线成套工艺的考核验证。SACVD是芯片制造过程中所需的关键设备之一。拓荆科技SACVD设备的研制，不仅体现了国产装备的技术创新，也体现了国产装备的创新速度，代表了国产装备向高端的跃升。

据悉，“IC创新奖”由中国集成电路创新联盟（大联盟）于2018年创立，旨在重点鼓励集成电路技术创新、成果产业化、产业链上下游合作，以体现大联盟倡导全产业链合作的理念。本届共征集126家单位159个项目。